产品说明: 扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。 主要技术指标:
★可处理硅片尺寸:2—8英寸 ★外型形式:卧式1—4管结构 ★工作温度:200℃—1300℃
★恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃ ★单点温度稳定性、重复性:≤±0.5℃/24h
★温度斜变:可控升温速率20℃/min, ★可控降温速率:5℃/min
★送片装置:全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉 ★气路系统:1—5路工艺气体/管
★气体控制:全自动MFC、手动浮子流量计 ★控制方式:工控机、触摸屏


主营概要:其他电子产品制造设备、竹质工艺品、其他行业专用设备、其他工控系统及装备
企业简介: 青岛鼎祥机械有限公司专业从事液压系统、气动系统、非标设备、电气工程的设计、制作、安装、调试、维修的专业公司。 公司为客户提供工业机器人生产线,我司是ABB上海工程有限公司的合格供应商。是雅马哈工业机器人山东地区代理。 我司销售、维修新、二手加工中心,主要代理大丸、艾格玛、丽伟等品牌。 我司拥有专业的人才队伍,丰富的实际操作经验,期待与您开展合作!我们的宗旨是:踏踏实实做人、认认真真做事! 查看更多介绍信息
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